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為保證羅茨真空機(jī)組能達(dá)到較高真空必須保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空機(jī)組使用時(shí)必須設(shè)有前級(jí)泵，用前級(jí)泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時(shí)再啟動(dòng)羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級(jí)泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨真空機(jī)組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級(jí)泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時(shí)候更為明顯。
羅茨真空機(jī)組中水環(huán)泵的作用是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，因此要求該水環(huán)泵的最大允許排氣壓力，即是說，一方面要盡量提高水環(huán)泵的極限真空，另一方面，也要設(shè)法提高羅茨泵的最大允許排氣壓力。一般情況，單級(jí)水環(huán)泵極限真空度不高，而目前我國(guó)生產(chǎn)的羅茨真空機(jī)組要求的預(yù)真空又較高，故實(shí)際上不用單級(jí)水環(huán)泵作為羅茨泵的前級(jí)泵，而用能提高極限真空度的雙級(jí)水環(huán)泵作為前級(jí)泵使用，采用雙級(jí)水環(huán)泵，還可以提高機(jī)組的極限真空度。
一臺(tái)羅茨泵的極限真空度是較低的，特別是當(dāng)它與水環(huán)泵組合運(yùn)行時(shí)，使用范圍受到限制，整個(gè)機(jī)組的極限真空度可能更低，但若用兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就能大大提高機(jī)組的極限真空度。故在這種類型里通常見到的是兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)后再用雙級(jí)水環(huán)泵作前級(jí)泵組成機(jī)組.
羅茨真空機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統(tǒng)。要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個(gè)機(jī)組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機(jī)械真空泵作為前級(jí)泵使用。
注：新安江工業(yè)泵的FJZJP系列羅茨水噴射成套真空機(jī)組由羅茨泵（機(jī)械增壓表）為主泵和中間泵，（過流部件采用獨(dú)特的噴涂防腐技術(shù)，達(dá)到很好的防腐效果），使用全塑臥式水噴射真空機(jī)組作為前級(jí)泵，可抽腐蝕性氣體，一級(jí)羅茨極限真空可達(dá)150Pa;二級(jí)羅茨泵極限真空可達(dá)25Pa，三級(jí)羅茨泵極限真空可達(dá)1Pa.
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